원자현미경(AFM) : 나노미터급 원자단위의 단차측정(Atomic Steps)

Tosca 200&400 : Atomic StepsTosca 200&400(AFM)은 날카로운 탐침을 사용하여 시료 표면을 스캔 및 분석해 표면의 이미지를 획득합니다. 다른 장비(예: SEM)와 비교하여 AFM은 x-y 방향뿐만 아니라 z 방향에서도 고해상도 스캔 기능을 제공하여 표면의 형상을 3D영상으로 제공합니다. 본 응용보고서는 Anton Paar가 개발한 AFM 장비를 사용하여 SiC(실리콘 카바이드) 표본을 나노미터 이하의 원자단계로 이지화한 결과를 보여줍니다.분석 조건 : 스캔 사이즈 2 x 2 μm/ 500 x 500 Resolution샘플의 단차는 총 11단계로 구성되어 있으며, 각 0.75nm의 단차를 가지고 있습니다. Tosca 400을 사용하여 3곳의 서로 다른 위치를 측정하였..........

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