오늘 소개할 자료는 반도체 공정개론 솔루션 2판 Richard C. Jaeger 입니다. 반도체 공정개론 솔루션 2판 Rich.pdf자료의 분량과 설명은 다음과 같습니다.분량 : 56 페이지 /pdf 파일 설명 : 미소전자소자 제조의 기초가 되는 개개의 단위 공정을 초반에 소개한 후 후반부에 이 단위 공정들로부터 이루어진 실제적인 MOS,MEMS 등의 소자와 집적 기술을 다루었다.또한 공정마다 이론적인 내용과 함께 공정에 사용되는 실제적인 응용을 깊이있게 다루었으며, 각 장의 끝에는 읽는 사람들이 해당 내용을 쉽게 이해 할 수 있도록 돕는 문제를 수록하였다. 다음과 같은 순서로 정리되어 있습니다.제1장 미소전자 제조 공정 ...15제2장 리소그래피..........
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