열식 질량 측정의 작동 원리(Bypass/CTA)

Thermal Mass Flow Measurement; Bypass 열식 질량 유량계와 유량조절계는 가스와 액체 모두에서 유체의 열 전도성을 이용하여 질량 흐름을 측정한다. Purge측정계 혹은 터빈 측정계와 같은 부피 기준 측정계와는 달리 열식 질 량 유량계와 유량조절계는 장치의 내부로 유입되는 유체의 온도 및 압력 변화에 상대적으로 영향을 받지 않는다. 열식 질량 측정 및 제어의 작동 원리 열식 질량 유량계 및 유량조절계는 질량 흐름의 직접적인 측정이 가능하다. 보통의 경우, 부피 기준의 흐름을 측정하거나, 궁극적으로 질량(밀도)흐름을 계산하기 위해 온도와 압력을 각각 별도로 측정해야 하는 다른 방법들과는 확연히 다르다. 이러한 열식 유량 기기는 실제로 분자 수준에서 흐름을 측정하고 제어하기 때문에, 공정 라인에 매우 정확하고 반복적이며 안정적인 가스를 공급할 수 있게 한다....

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