왜 열식 유량계와 조절계를 사용할까?

많은 연구와 생산 라인에서 중요한 변수는 부피가 아닌 질량이다. 부피 유량측정은 온도 혹은 압력의 변화가 고정된 부피의 밀도에 미치는 영향 때문에 질량 유량측정보다 신뢰도가 떨어진다. 열식 질량 유량 측정 부피 유량계나 터번식 유량계와 같은 부피 유량측정계와 달리, 열식 질량 유량계/조절계는 유입 유량의 온도와 압력 변화에 비교적 면역성이 있다. 질량 유량계/조절계의 경우, 질량의 흐름을 직접 측정할 수 있는 반면에, 부피 유량계의 경우 질량과 밀도를 계산하기 위해 온도와 압력을 별도로 측정해야 한다. 질량 유량계/조절계는 실제로 분자 수준에서 유량을 측정하고 조절하기 때문에 매우 정확하고 반복적으로 가스를 공정라인에 주입할 수 있다. 반도체 산업에 주로 사용될 목적이었던 질량 유량계/조절계는 현재 연구실, Pilot 공정 또는 연속 생산 공정에 널리 사용되고 있다. 열식 질량 유량계/조절계는 저 유량에서의 정확도와 반복성, 입구 측 온도와 압력 변동에 대한 상대적인 내성을 가지고 ...

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