초소형 마이크로 코리올리스 질량 흐름 센서

우리는 이 블로그에서 현재 세계에서 가장 저 유량대의 흐름 측정이 가능한, #MEMS 기술을 바탕으로 한 코리올리스 장비의 성장을 공유하려 한다. MEMS란 Micro Electro Mechanical System(초소형 정밀 기계 시스템)의 줄임말이다. 이 유니크한 #코리올리스 장비는 현장에 바로 사용할 수 있다. MEMS(Micro Electro Mechanical System); 초소형 정밀 기계 시스템 기술 웨이퍼, 매우 평평하고 얇은 디스크이다. MEMS기술은 반도체 기술과 유사하나, 전자칩이 아닌 센서나 소형 기계부품에 적용된다. 우리에게 잘 알려진 MEMS기술에는 에어백 센서, 잉크젯 헤드, 압력 센서, 마이크, 나침반, 가속계 및 시간에 기반한 진동자 등이 있다. 예를 들어 스마트폰에는 많은 MEMS부품들이 내장되어 있고, 열 유량 센서는 에어컨 시스템에 널리 사용된다. MEMS칩은 웨이퍼로 만들어진다. 웨이퍼는 실리콘 또는 유리로 만들어지는 매우 평평하고 둥근 디스크...