KOSHA GUIDE-공정안전지침-반도체 제조설비의 화재 방지 및 방호 기술지침

반도체 제조설비의 화재 방지 및 방호 기술지침 1. 목적 이 기술지침은 반도체 제조설비에서 발생될 수 있는 위험을 최소화하기 위하여 화 재 방지 및 방호 시스템 구축에 관한 기술적 사항을 제시하고, 위험물질의 저장 및 운반과 위험물질 제조지역에서의 사용 및 처리의 기술적 사항을 제시하는데 목 적이 있다. 2. 적용범위 이 기술지침은 건강유해성, 반응성 및 인화성의 등급이 상대적으로 높은 위험물질 을 저장 및 처리하는 반도체 제조설비(Semiconductor fabrication facilities)가 포함 된 건물과 반도체 제조설비의 화재 방지 및 방호를 위한 비상통제소에 대하여 적 용한다. 3. 용어의 정의 (1) 이 기술지침에서 사용되는 용어의 뜻은 다음과 같다. (가) “연속가스 감지시스템(Continuous gas detection system)”이란 분석 기기가 연 속으로 운전되고 가스 감지시스템이 시료 채취(Sampling)를 중단 없이 수행하 는 시스템을 말한다. 분석은...

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