EUV 공정의 핵심 소재, 펠리클

EUV 펠리클의 중요성 EUV의 양산 도입을 위해서는 수율 향상 등과 같은 크리티컬 한 문제를 해결해야 한다. 그중에서 가장 중요한 것 중의 하나가 EUV용 펠리클 개발이다. 그렇다면 펠리클이 도대체 무엇이기에..

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