노광공정 해상도

반도체 전공정 기술은 선폭을 줄이는 것이 목표이자 핵심 경쟁력이고, 이는 성능개선과 원가개선을 동시에 달성할 수 있다. (동일 면적 내에 그림을 더 작게 그리면, 더 많은 그림을 그릴 수 있음 : 면적 당 생..

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