[포토공정 4] 액침노광(Immersion Lithography)원리와 문제점, 해결책


[포토공정 4] 액침노광(Immersion Lithography)원리와 문제점, 해결책

Q. 포토공정에서 물을 렌즈 역할로 사용하면 굴절률이 높아지는데 여기서 오는 문제점은 무엇인지 설명하......

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