[반도체 8대공정/미세화공정] Etching(식각) 공정

[ Etching(식각) 공정이란? ] 식각공정은 Photo공정에서 형성 된 패턴대로 깎아내는 공정을 말합니다. 앞서 언급했던 Photo공정과 함께 8대공정 중 중요도가 높은 공정에 속하며, 현재 nm를 구현하는 반도체 공정..

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