반도체 장비 PECVD 개론 -3


반도체 장비 PECVD 개론 -3

3. 진공(Vacuum) 반도체 장비에서 진공은 뼈대라고 볼 수 있다. 대부분의 반도체 공정은 진공에서 이뤄진......

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