MOSFET과 관련한 잘 모르는 용어와 현상...

대학교에서 전자공학과를 전공했다면 반도체 관련 테크트리를 많이 공부하는데, 그 중에서 기초가 되는 것이 반도체 물리(또는 device physics)이다. 이 과목에서 기초적인 내용들을 많이 배우긴 하지만 실제 업무에서 핵심적인 내용들은 빠지는 경우가 많다고 생각된다. 지금은 너무 당연하지만 인식조차 하지 못하는 사실, 지식?에 대하여 간단히 정리하고자 한다. 1. EOT : Equivalent Oxide thickness MOSFET device modeling(BSIM4 기준)에서 가장 기본적인 process parameter인 toxe, toxp가 있다. toxp는 physical gate oxide thickness를, toxe는 electrical gate oxide thickness를 의미한다. 그렇다면 physical과 electrical의 차는 무엇일까? Physical은 말 그래도 oxidation process를 통해 만들어진 실제 gate oxide의 thickn...

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