진공누설의 검출

8.2 누설의 검출 진공 시스템에 있어 사용하는 공정의 종류에 따라 상당히 많은 진공 부품과 연결되며, 이러한 부품을 통해 유입될 수 있는 수 Å 정도의 크기를 가진 기체분자를 차단하기란 결코 쉬운 작업이 아니다. 그러나 원활하게 진공 시스템을 사용하기 위해서는 누설은 반드시 차단하여야 하며, 최소한 허용되는 누설률을 확인하거나 정량적으로 누설량을 측정하여야 할 것이다. 표 8-2에서는 진공 누설을 검출하는 여러 가지 방법을 분류하고 있다. 진공 누설을 검출하는 방법으로는 크게 진공법과 가압법으로 대별하며, 여기에 침투법이 추가되기도 한다. 진공법은 누설을 확인하고자 하는 장비나 부품에 진공 펌프를 연결하여 배기하고, 누설의 부분에 가스를 투여함으로써 검출 센서로 검출하는 방식이다. 반면에 가압법은 대기..

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