MEMS 정의, 사용범위, 장단점 - KISTLER

------------------------------------------------------------------------------------------------------------조경흠 // TEL : 055-262-3730 FAX : 055-262-3702 E-mail : [email protected]://www.famtech.co.kr/main/main.php------------------------------------------------------------------------------------------------------------MEMS 란?Micro-electromechanical systems (MEMS) 은 전기적 요소와 기계적 요소를 통합한 integrated 장치로 공정 기술을 이용해서 만들어진 작은(micro) 장치입니다. 사이즈는 micrometer에서 milimeter까지 다양하게 제작됩니다. micro 범위에서 센싱, 제어, acuate 가 가능합니다. ME..........

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