MEMS Capacitive 가속도 센서 동작 원리

------------------------------------------------------------------------------------------------------------조경흠 TEL : 055-262-3730 FAX : 055-262-3702 E-mail : [email protected]://www.famtech.co.kr/main/main.php------------------------------------------------------------------------------------------------------------이번 내용은 우리가 사용하는 MEMS 가속도 센서의 내부가 어떻게 동작하는 것인지 살펴 보겠다. 가속도 센서는 위의 그림처럼 각 축의 가속도 값을 알려주는 센서이다. 예를 들어 움직임이 없는 가속도 센서는 z축으로 중력의 영향을 받아 z축에 9.8m/s^2 값을 가진다. 가속도 센서의 동..........

원문링크 : MEMS Capacitive 가속도 센서 동작 원리