QUAVA SPOT MEGATUBE (쿼바 스팟 메가튜브) HDD . 반도체 웨이퍼 등 매엽 세정 ! 이다. 950 kHz 메가튜브 예시 동영상이다 굽은 파이프를 통해 초음파 전파 KAIJO 특허를 갖고 있으며, 고 음압으로 높은 세정력 발휘한다. 3 종류의 초음파 조사 방식이 있다 선 단 조 사 방 식 샤 워 조 사 방 식 측 면 조 사 방 식 선 단 조 사 방 식은 튜브를 통해 초음파 유도하여 메가소닉파로 세정물에 작동된다. HDD 기판 등에 파티클(particle)을 제거한다. 튜브는 워크나 장착된 장치에 맞춰 최적의 형태로 제작된다. 측면, 거친면, 가장자리 모서리등 에 대응 가능하다 샤 워 조 사 방 식 은 튜브로 액체를 분출하여 메가소닉파로 세정물에 작동된다 HDD 기판 등에 파티클(particle)을 제거한다. 튜브는 워크나 장착된 장치에 맞춰 최적의 형태로 제작된다. 측면, 이면 조사에 대응한다. 측 면 조 사 방 식 은 튜브 측면에서 초음파 조사한다 전파액은 순환 또...
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