웨이퍼에 한 폭의 세밀화를 그려 넣는 포토공정(Photo) 이란 ?

지난 시간에는 웨이퍼 표면에 산화막(SiO₂)을 형성시켜 웨이퍼를 든든하게 보호하는 산화공정에 대해 소개해 드렸는데요, 이번 시간에는 준비된 웨이퍼 위에 반도체 회로를 그려 넣는 포토공정(Photo)에 대해 알아보도록 하겠습니다. 요즘에는 많은 사람이 디지털 카메라를 사용하고 있지만, 불과 수년 전만해도 소풍이나 여행을 가면 빠짐없이 등장했던 카메라가 있습니다. 바로 아날로그 향수가 물씬 풍기는 필름 카메라인데요, 반도체 공정 중 웨이퍼에 회로를 그리는 포토공정(Photo)은 우리가 흔히 알고 있는 필름 카메라로 사진을 찍어 현상하는 방법과 동일합니다. 설계와 마스크 제작: 웨이퍼에 그려 넣을 회로 패턴을 만드는 준비 단계 우선, 컴퓨터 시스템(CAD, computer-aided design)을 이용해 웨이퍼에 그려 넣을 회로를 설계합니다. 전자회로 패턴(Pattern)으로 설계되는 이 도면은 50~100m 정도의 큰 크기로 제작 되는데요, 어마어마한 도면에 세밀한 회로가 복잡하게...

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