반도체, 디스플레이 불량 검사를 3D로

"반도체·디스플레이 불량 검사를 3D로" 에스디옵틱스, 3D 라인 스캐너 개발 <에스디옵틱스가 실시간으로 반도체와 디스플레이 소재 부품을 3차원(3D)으로 검사를 수행하는 3D 라인 스캐너를 출시했다. 높낮이가 있는 피사체를 신속하게 검사하고 고화질 3D 이미지를 획득할 수 있다. 23일 경기도 화성시 에스디옵틱스에서 연구원들이 3D 라인 스캐너로 부품을 검사하고 있다. 화성=박지호기자 [email protected]> 반도체와 디스플레이 소재부품을 3차원(D)으로 검사해 불량을 신속하게 파악할 수 있는 장비가 개발됐다. 에스디옵틱스는 실시간으로 3D 검사를 수행하는 '3D 라인 스캐너'를 출시했다. 스캐너는 에스디옵틱스가 독자 개발해 독일 자이스 전자 현미경에 공급한 '초고속 가변초점 소자(MALS)' 기술을 활용했다. 높낮이(단차)가 있는 피사체를 빠르게 검사하고 고화질 3D 이미지를 획득할 수 있다. 일반적인 3D 스캐너는 면적(에어리어) 검사와 라인 검사 방식으로 구분된...

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