안녕하세요. 가온에스티 입니다. 오늘은 생고뱅 슬러리에 대해 소개해 드리고자합니다. 그 중에서 산화물 슬러리(Oxide Slurry) 웨이퍼에 사용되는 슬러리를 소개하고자 합니다. 생고뱅 산화물(Oxide) 슬러리는 실리카 산화물 (Silica Oxide) 및 실리카 질화물 (Sillca Nitride) 웨이퍼에 사용하도록 특별히 제조 된 고정밀 CMP 슬러리 입니다. 생고방 고유의 지르코니아 입자 및 세리아 입자를 사용하여 경쟁사 제품에 비해 연마율을 크게 향상시켰으며, 또한 고효율 첨가제를 사용하여 연마율 제어를 용이하게 하였습니다. 생고방 산화물 (Oxide) 슬러리는 우수한 면조도를 얻을 수 있으며, 세척도 용이합니다. 저장 및 보관이 용이하며, 생물학적 안정성이 높아 사용 편의성을 높였다. " 고정밀 CMP 웨이퍼 슬러리 " 생고뱅 실리콘 슬러리의 특장점 잘 정제된 연마 입자를 사용하여 뛰어난 연마율을 자랑한다. 과도한 입자 크기를 엄격히 제어하여 균일한 입자로 우수한 면조...
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원문링크 : 생고뱅_산화물 실리콘 웨이퍼 슬러리(Signature Oxide Slurry)
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