STC-610 랩핑시스템 연마기

사파이어 및 SIC 웨이퍼 용 랩핑 시스템. 높은 연마율과 우수한 표면 조도!! 한쪽 면 고속 연마기 STC-610은 Φ 610의 랩 정반이 최고 300rpm으로 회전하고 Φ250mm까지 워크 플레이크의 사용이 가능합니다. 2개의 가공 축을 갖추고 최대 300Kg의 연마 가압할 수 있습니다. 자동 홈 드릴 · 페이싱 기구, 에어 실린더 가압장치, 진공 척 기구, 정반 회전수의 자동 전환 장치, 냉각 장치 등 SW-08과 마찬가지로 사용되는 상황을 상정한 각종 기능을 장비하고 있습니다. 고속 회전 메카니즘 Φ610 min 랩핑 플레이트는 최고 300rpm 으로 회전하여 고속 연마를 실현한다. 사파이어 및 SIC와 같이 고경도 웨이퍼에도 탁월한 연마율을 얻을 수 있다. 연마기 STC-610 프로세스 스핀들 강제구동회전장치에는 2개의 프로세스 스핀들이 장착 되어있어, 높은 연삭 압력 조건에서도 안정된 회전으로 연마가 가능하다. 에어 실리더 가압 메카니즘 연마시 가압과 연삭 속도와 상...

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