리소그래피 lithography, 박막증착 evaporation, 스퍼터링 sputtering

리소그래피 lithography 리소그래피(lithography)는 웨이퍼의 표면에 규정된 영역에서 박막의 선택적인 제거, 절연체의 패터닝(patterning), IC를 형성하는데 요구되는 금속들을 얻는 과정이다. 즉, 실리콘 칩 표..

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