[반도체 8대공정]_Dry ETCH (5)

하루에 한페이지씩 완벽하게 내것으로 Plasma 의 성질 1. 전기적 성질 외부에서 전계를 걸어주면 전류를 흘릴 수 있는 특성이 있다. 전기 전도도는 온도가 올라갈수록 증가하며 약 천만도 이상일 때 구리와 같은 전기전도도 값을 가진다. 2. 자기적 성질 Plasma 내부에 있는 electron과 Ion들은 자계를 걸어주면 운동 방향이 자계 방향과 직각으로 원운동하게되어 plasma를 원하는 곳에 집중 시킬 수 있다. Plasma의 밀도가 높아지면 전기 저항이 낮아진다. 즉, 자기적 특성을 이용해 전압을 상승시키지 않고도 높은 밀도의 plasma를 생성시킬 수 있다. 3. 화학적 특징 Plasma 내부에는 electron과 ion이 열운동하기 때문에 분자들을 여기, 전리 시킬 수 있다. 이러한 분자들은 다른 분자들과 쉽게 반응하여 PECVD, RIE 등을 진행시 사용된다. Plasma Etch Mechanism Physical 전극에 의해 끌어당겨진 Ion이 가속되면서 target f...

원문링크 : [반도체 8대공정]_Dry ETCH (5)