디스플레이 TFT 핵심 공정 - ③ Etch

디스플레이 TFT의 핵심 공정 3번째 시간입니다. 앞에서는 쌓는 방법에 대해 설명을 드렸는데, 이해가 잘 되셨나요? (얼른 결론부분만이라도 보고 오세요~) ** 참고 ①: 2020/11/03 - [공학/디스플레이공학] - 디스플레이 TFT 핵심 공정 - ① Sputter ** 참고 ②: 2020/11/03 - [공학/디스플레이공학] - 디스플레이 TFT 핵심 공정 - ② CVD Etch 또는 식각이라 부르는 이 공정은 깎아서 모양을 만드는 공정입니다. 그렇담 여기서 질문!! Etch(식각)은 과연 어떻게 깎아내는 걸까요? 또 원하는 부분만 어떻게 깎아낼까요? 알아보러 떠나보겠습니다~ Etch Etch는 금속이나 반도체 등에서 증착층의 불필요한 부분을 깎아내는 과정입니다. Etch는 크게 건식(Dry)과 ..

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