공부하기 위해 정리하는 반도체 포토공정/EUV/리소그래피의 모든 것

#반도체 #포토공정 #8대공정 #EUV #펠리클 #레티클 #리소그래피 #ASML #Cymer #Photolithography 반도체 8대 공정 반도체의 8대 공정이란 제품을 생산하여 출하하기까지 필요한 기술들 중 가장 핵심이 되는 8가지 요소를 말한다. 이는 다음과 같다. - 웨이퍼(wafer) - 산화(oxidation) - 포토리소그래피(photo-lithography) - 식각(etching) - 박막(증착, deposition) - 이온 주입(ion implant) - 금속화(metallization) ; 배선(circuit drawing) - EDS & 패키징(electrical die sorting & packaging) 이 중 포토 공정에 대해 정리할 것임. 흔히 포토-리소그래피(photo-lithography) 공정을 줄여서 포토(photo) 공정이라고 한다. 감광 수..........

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