전자총에서 가속되어 나온 전자빔을 시료표면에 조사하면 전자빔과 시료사이의 상호작용으로 특성 X이 발생한다. 이 특성 X선을 EDS( Energy Dispersive Spectroscopy, 에너지 분산 분광기) 혹은 WDS( Wavelength Dispersive Spectroscopy , 파장 분산 분광기)를 이용하여 구성원소의 조성을 알 수 있다. 이 두 검출기의 차이는 특성x선을 에너지로 검출하느냐, 파장으로 검출하느냐의 차이가 있다. 여기에서는 EDS를 이용한 시료 성분 분석에 대해 설명하고자 한다.EDS에 의한 시료 분석에 대해 간단히 설명한다면1. 측정할 수 있는 원소는 B ~ U2. 동시에 모든 원소가 검출3. 시료 표면의 약 1 ~3um 범위가 분석됨4. 검출기의 방향성 있..........
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