EDS 와 AES

EDS는 (Energy-dispersive spectroscopy) 의 약자로 Energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS, EDX, EDXS or XEDS) 혹은 energy dispersive X-ray analysis (EDXA or EDAX) 로 불린다. EDAX는 EDS를 상용화시킨 회사의 이름이기도 하다. 이름에서 알 수 있는 것 처럼 EDS는 전자빔을 물질에 충돌시키면 전자빔이 가진 '에너지'가 물질에 충동하면서 '전파되는'데 이때 튕겨져 나온 전자의 빈공간을 다른 껍질의 전자가 채우면서 발생하는 'X-ray(전자기파)'를 ' 분리 분석(분광)' 하여 물질의 성분을 분석할 수 있다. EDAX 홈페이지에 들어가보면 EDS 제품이라고 나온다. AES 은 Auger Electron Spectroscopy 의 약자로 전자빔에 의해 튕겨져 나오는 Auger electron을 분석하여 성분 분석한다. AES는 샘플의 표면에서 나오는 auger elec...

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