[반도체 이론] CMOS 소자 공학(MOSFET)


[반도체 이론] CMOS 소자 공학(MOSFET)

CMOS 소자 공학 CMOS 소자공학 이란? CMOS 소자공학을 이해하기 위하여, MOSCAP / MOSFET에 대하여 살짝 알아보도록 하겠습니다. MOSCAP Structure (p - type인 경우) Accumulation / Depletion / Saturation Accumulation Metal에 (-)전압을 인가. Majority Carrier(정공)이 Oxide 근처에 축적되어 있는 상태. Delpetion Metal에 (+)전압을 인가. Oxide 근처에 Carrier 가 존재하지 않음. Depletion 존재(위 그림에서 Xd 길이가 Depletion 영역) Saturation Metal에 조금 더 강한 (+) 인가. Minority Carrire(전자)가 Oxide 근처에 축적. 표면이 N - type 반도체 처럼 변경된 상태. MOSCAP Structure : Inversion(Frquency 관련) inversion (low - freuency인 경우) Low...


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