EUV노광장비가왜중요한가

반도체 제조 시 수천억 개의 트랜지스터를 한꺼번에 구성하기 위해 빛과 마스크를 사용해 일괄적으로 회로를 형성하는 노광 기술에 사용되며,광원 중에서 초미세공정이 가능한 극자외선을 사용하는 것이 특징입니..

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