미세전자기계시스템, 정밀기계

미세전자기계시스템1. 기술로드맵2. 개요가. 정의 및 필요성(1) 정의정의 : #미세전자기계시스템'은 사물의 데이터를 검출하는센서와 엑츄에이터, 그리고 미세 구조물 등을 LSI 칩위에 형성한 시스템으로서, 데이터 입력·출력 혹은 통신 등의 복합 기능을 보유하고 있는 고부가가치를 창출하는분야이며, #반도체기술'을 활용하여 #초소형센서및 엑츄에이터 등을 제작하는 #공통플랫폼기술범위 : 미세전자기계시스템은 #초미세센서, #초소형엑츄에이터, 초미세 구조로 구성된 시스템으로서 #스마트제조 생산공정 모니터링, 제품 생산 이력 관리, 압력, 온도, 진동, 환경, 생체 등 다양한 산업분야에 적용되고 있음(2) 필요성미세전..........

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