중소기업 전략기술로드맵 (2023-2025), 디스플레이

디스플레이용 증착 및 식각 장치 및 부품 정의 디스플레이용 증착 및 식각 장치 및 부품이란 진공 및 플라즈마를 이용하는 박막 증착 및 식각 장치로써 CVD, Sputter, Dry Etcher, FMM(Fine Metal Mask) 등 포함 #OLED디스플레이 제작 시 유기물질을 정확한 위치에 증착하기 위한 용도로 사용되는 종이보다 얇은 메탈소재판 AMOLED 제작 시 유기물질들을 진공, 증착하는 과정에서, RGB 재료를 독립 화소로 구성하고자 기체가 지나가는 path의 일부를 열어주기 위해 사용하는 Fine Pattern을 가진 얇은 Metal Mask를 의미 펠리클은 포토리소그래피 공정에 사용되는 포토마스크 표면을 먼지로부터 보호하고, 먼지로부터 보호된 포토마스크가 빠른 속도로 많은 양품의 반도체 칩이나 대형 디스플레이 패널을 생산하여 높은 수율을 달성하는데 필수적인 포토마스크용 보호막으로 포토리소그래피 공정의 높은 수율을 달성할 수 있으며 포토마스크의 수명을 연장해 줌 ...

원문링크 : 중소기업 전략기술로드맵 (2023-2025), 디스플레이