플라즈마크리닝 원리소개

청소 및 살균 플라즈마 세정은 처리 된 표면에서 탄화수소의 화학적 반응 또는 물리적 제거를 통해 유기물 오염을 제거합니다. [3] 화학적으로 반응하는 공정 가스 (공기, 산소)는 탄화수소 단층과 반응하여 플라즈마 클리너 챔버에서 연속 가스 흐름에 의해 제거되는 가스 제품을 형성합니다. [7] 플라즈마 세정은 위험한 화학 물질이 포함 된 피라냐 에칭과 같은 습식 화학 공정 대신에 사용할 수 있으며, 이는 시약 오염 위험을 증가시키고 에칭 처리 된 표면을 위험하게합니다. [7] 플라즈마에서 가스 원자는 더 높은 에너지 상태로 여기되고 이온화됩니다. 원자와 분자가 정상의 낮은 에너지 상태로 '완화'되면 광자의 빛을 방출하므로 플라즈마와 관련된 특징적인 "광선"또는 빛이 발생합니다. 가스에 따라 색상이 다릅니다..

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