실리콘 플라즈마표면처리 소개

무정형/결정성 실리콘 이종계의 수소 플라즈마 사후 증착 처리는 추가로 조사됩니다. 기판 온도, 가스 압력, 플라즈마 전력 밀도, 흥분 주파수 및 전극과 기판 사이의 거리를 포함한 특정 플라즈마 공정 파라미터의 영향을 검사합니다. 수소 플라즈마 단계 후 의 통과 품질은 플라즈마 내의 원자 수소의 밀도와 인터페이스에 충분한 수소 확산에 따라 다름입니다. 기판 거리로 전극의 변화는 수소의 주입이 비정질 층의 건조 에칭을 동반한다는 것을 보여준다. 음절의 질에 도달하기 위해서는 일정량의 수소를 도입하고 동시에 비정질 실리콘의 에칭으로 인한 손상을 제한하고 태양전지 적용을 위한 올바른 비정질 실리콘 필름 두께를 유지해야 합니다. 연구팀은 플라즈마 처리를 사용하여 플루오로폴리머와 실리콘 수지가 접착제 없이 부착되도..

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