Photolithography - 1

오늘은 노광공정에 대해 알아보자. 노광공정은 쉽게말하자면 반도체 기판 위에 '회로를 새겨 넣는 과정' 이라고 말할 수 있다. deposition으로 쌓은 반도체막이나 절연막을 원하는 형태로 만들기 위해 깎을 영역을 고르는 과정이다. Mask에 있는 패턴을 빛을 이용하여 wafer 위로 옮기는 작업을 진행하며, 이를 위해 감광성 물질인 포토레지스트(PR)를 사용한다. 여기서 새겨진 PR은 Etch 공정에서 막이 깎이는것을 막아주는 방어막 역할을 한다. 노광공정의 절차를 보면 크게 3가지로 나뉘어진다. 위의 그림에서 보이듯이, 1. PR도포 2.빛 조사 3. PR 제거 의 과정을 거치는데, Mask에 의해 가려지지 않고 PR에 빛이 닿는 부분에서 반..........

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