SK 불화수소 가스 양산 시작

SK 불화수소 가스 양산 시작 지난해 일본이 수출규제 조치를 취한 후 우리 기업들이 소재 국산화에 돌입해서 성과에 속도가 붙고 있다. SK그룹은 17일 반도체 소재 생산 기업인 SK머티리얼즈가 최근 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 밝혔다. 일본 수출규제 대표 품목인 초고순도 불화수소 가스는반도체 제조에 쓰이는 세정 가스다. 반도체 공정 미세화로 수요는 급증하는데해외 의존도가 100%에 달했다. SK머티리얼즈는 작년 말 시제품 개발에 성공하고 경북 영주공장에 15t 규모 생산시설을 지었다. - 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올리는 것이 목표다. SK머티리얼즈는 최근 고부가 제품인 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다. 불화..

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