[나의 역사] Sputter

나는 석사때 유기물 기반의 트랜지스터, 태양광 전지 소자 연구를 했었다. 나는 태양광전지 소자로 논문을 썼지만, 막상 취업은 OLED 연구를 하고 싶었다. 근데 Sputter 엔지니어가 되었다. 처음 라인에 들어가서 Sputter 설비를 보고는 '와 이건 뭐 재밌긴 하겠다' Sputter에 대해서 오늘 조금 소개 정도 하겠다. Sputter는 Plasma를 이용한 박막 Depo 공정이다. 대상 물질은 주로 금속(Al, Ti, Mo, Cu...), Oxide 물질(ITO, IZO, IGZO) 이다. 평평한 금속을 만들어서 챔버에다가 붙여놓는데 그걸 타겟이라고 한다. 챔버에다가 타겟을 매달아 놓고 Ar 가스를 넣은 다음 전압을 줘서 Plasma를 만든다 그럼 Ar이 이온이 되고 금속 타겟쪽으로 이동한다. 이..

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