그린리소스, 수요예측 753대 1, 공모가 17,000원 흥행 성공했습니다.

그린리소스 753.19대1로 흥행 성공합니다. *참고 : DART 그린리소스는 2011년에 설립된 반도체 공정 설비 초고밀도 특수코팅(PVD) 전문 기업이다.

희토류 관련 소재 제조 기술을 바탕으로 2013년 일본에서 독점해온 코팅 소재를 처음으로 국산화했다. 2016년부터 코팅 소재부터 부품과 장비, 제반 기술로 이어지는 원스톱(One-stop) 솔루션 구축해 글로벌 반도체·디스플레이 기업에 제공하고 있다. 초고밀도 특수코팅은 반도체 식각 공정에서 주로 활용된다.

식각 공정은 반도체 웨이퍼(Wafer·실리콘 기판) 중 필요한 부분 이외에 나머지 물질을 제거하는 공정으로, 이 과정에서 반도체 식각 장비의 핵심 부품을 보호하고 오염 입자를 최소화하기 위해 특수코팅이 적용된다. 반도체 공정이 미세화할수록 식각공정의 플라즈마(전기장으로 가열돼 전자, 중성입자 등으로 입자가 나눠진 상태) 강도가 높아지는데, 10(나노미터) 이하 반도체 공정에서 수율을 높이기 위해선 특수코팅이 필요하다.

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