[StudyDiary21] 플라즈마(Plasma)란?

선이에요 :) 플라즈마(Plasma)에 관해서 공부한 내용을 정리했어요 Dry etch, PECVD, Sputtering, Ion implantation, Cleaning 공정에서 플라즈마를 사용합니다 그만큼 중요하기 때문에 게시글을 따로 마련했습니다 앞으로 추가할 내용들이 더 있는데, 차근차근 추가해나가겠습니다 Plasma (플라즈마)란 무엇이고, 어떻게 발생하는 걸까요 ?? 플라즈마(Plasma)란? 국가핵융합연구소 고체, 액체, 기체를 넘어선 물질의 제4 상태로, 높은 에너지에 의해 원자가 자유전자(electron), 이온(ion), 중성의 원자 또는 분자(radical)로 분리된 상태를 Plasma(플라즈마)라고 정의합니다 (전리·이온화된 상태) 플라즈마는 외부 전자기장에 의해 영향을 받는 전기를 통과시키고 발광시키는 기체의 영역입니다 플라즈마를 발생시키기 위해서는 에너지가 필요한데 열, 에너지 빔, 전자기장 등의 형태로 공급해 주게 됩니다 반도체 공정에서는 전자기장을 통해 ...

원문링크 : [StudyDiary21] 플라즈마(Plasma)란?