[StudyDiary23] 반도체 전공정ㅣ박막 증착 방식 (2) : CVD 심화 공부

선이에요 :) 지난 시간 PVD에 이어서 화학적인 증착 방식 CVD에 관해 자세히 얘기해보겠습니다 [StudyDiary22] 반도체 전공정ㅣ박막 증착 방식 (1) : PVD_Evaporation & Sputtering(스퍼터링), Spin-on 방식 선이에요 :) 반도체 소자 공정은 'Deposition → lithography → etching → ashing(strip)' ... blog.naver.com PVD 경우 주로 metal의 증착에 활용이 되고 있지만, 반도체 공정에 있어서 활용도가 더 높은 CVD에 대해 살펴보도록 하겠습니다 pc 버전에 최적화되어 있습니다 < 박막 증착 방식 분류 > CVD (Chemical Vapor Deposition, 화학적 기상 증착) 간단하게 말하자면, 기체 상태의 source를 공급하여, 기상 또는 기판 표면에서의 화학 반응에 의해 박막을 형성하는 방식입니다 CVD 반응 Mechanism https://slideplayer.com/slid...

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