주사 전자 현미경 SEM 원리 요약, 이미지 생성 및 X-선 원소 분석 정리 (Ft. 전자빔과 시편의 상호작용)

안녕하세요. 과학 애널리스트 CASLAB 조인진 입니다. 주사 전자 현미경 SEM에서 관찰 분석하는 것은 크게 3가지로 첫째는 표면 요철 및 형상을 관찰하는 이차전자에 의한 표면 Morphology Image, 둘째는 후방산란 전자에 의한 조성 Composition Image, 셋째는 특성 X-선에 의한 Element Mapping Image와 원소 스펙트럼입니다. 그럼 주사 전자현미경 원리와 함께 전자빔과 시료의 상호작용 (Interaction)을 통해 이차전자 이미지와 조성 이미지 생성, X선 원소 분석 방법에 대하여 최대한 간단하게 요약해서 설명해 보겠습니다. 간단한 내용이지만 주사 전자현미경 SEM에 대한 핵심을 이해하는 시간이 될 것으로 기대합니다. 주사 전자현미경 SEM 원리 요약 전자현미경의 일종인 주사 전자현미경은 Scanning Electron Microscopy라고 부르며 모두 글자를 따서 약어로 SEM이라고 합니다. SEM에서 전자빔은 Electron Gun이라고...