[공유] Photo-lithography

출처 흐르는 눈물 넘어로 어른이 되었던 그때..|뽀로로 이 공정의 정밀도가 사실상 집적회로 구조의 정밀도를 결정한다고 해도 과언이 아닙니다. 집적회로 공정 기술은 광학기술의 발전에 따라 정밀도를 높이고 전기적 특성의 균일성 유지를 위하여 발전하였습니다. 작게 만들면 칩의 단가를 낮출 수 있을 뿐만 아니라 회로의 속도도 빨라지고 같은 속도에서는 전력을 작게 소모하게 됩니다. Lithography 는 마스크 위의 무늬를 실리콘 표면에 인쇄하는 공정입니다. 마스크가 사진 필름이면 실리콘 표면이 인화지인 셈이죠. 마스크는 석영유리판에 크롬도금된 것인데 설계된 회로의 모양이 크롬 도금의 형태로 나타나 있게 됩니다. 마스크 위의 크롬 층 무늬를 보면 많은 다각형의 형태로 보입니다. 설계된 회로의 모양은 다각형을 이용하여 표현되기 때문입니다. (원형이나 삼각형 또는 다른 도형은 거의 사용되지 않는다.) 이들 다각형 하나하나는 설계 법칙에 따라 그려진 것입니다. 즉 photolithography ...

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