[공유] [알아봅시다] 포토마스크(Photomask)

출처 밍그라빠의 에너지하베스팅|밍그라빠 [알아봅시다] 포토마스크(Photomask) 반도체ㆍLCD에 전자회로 새기는 '필름' 노광공정 핵심 소재 … 제품 집적도ㆍ해상도 좌우 반도체용 4분의 1크기 축소ㆍLCD는 일대일 대응 글로벌 업체 한국 내 생산라인 … 근접공급 강화 반도체ㆍLCD 공정에 필수로 사용되는 핵심 소재인 포토마스크는 엔지니어가 설계한 전자회로를 노광시스템(Manufacturing Beam Exposure System)을 이용해 석영기판 위에 형상화한 제품입니다. 회로가 새겨진 포토마스크를 감광액(photoresist)이 입혀진 반도체 원판(웨이퍼)이나 LCD 유리기판 위에 놓고 빛을 쪼이면 빛이 통과해 닿은 부분만 화학반응이 일어나면서 반도체 칩과 LCD 유리기판 위에 회로 패턴이 형성되죠. 노광(exposure)공정으로 불리는 이 과정은 기본적으로 사진을 인화하는 과정과 같기 때문에 여기서 포토마스크라는 이름이 유래됐습니다. 피사체가 담긴 필름으로 사진을 현상하는 ...

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