반도체 8대 공정이란? 2. 산화공정 제대로 알기


반도체 8대 공정이란? 2. 산화공정 제대로 알기

산화 공정 산화공정이란? 실리콘을 SiO2를 만드는 작업입니다. 실리콘이 공기 또는 물에 노출되면 자연산화막을 생성하게 됩니다. 여러 방법이 있지만 IC 기술에서는 thermal oxidation(열산화 공정)을 주로 사용..

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