반도체 8대 공정이란? 4. 식각공정 제대로 알기 (에치 공정, 균일도, 선택비, 식각속도)

반도체 8대 공정이란? 4. 식각공정 제대로 알기 (에치 공정, 균일도, 선택비, 식각속도)

식각공정이란? 식각공정은 포토공정에서 정의된 영역의 하부 박막을 제거해서 원하는 반도체 회로 형상을 만드는 공정입니다. 따라서, 포토공정에서 만들어진 모양 그대로 식각할 수 있는지가 중요합니다. 아래와..

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