반도체 8대 공정이란? 5. 증착&이온주입 공정 제대로 알기 (PVD, CVD, 증발법, 스퍼터링, LPCVD, PECVD, 이온주입공정)

증착공정이란? 증착 공정은 얇은 두께의 박막(thin film)을 형성하는 공정입니다. 이 때 박막(thin film)이란 0.1nm이하의 얇은 막을 의미합니다. 증착 공정에는 크게 물리적 기상증착방법(PVD, Physical Vapor De..

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