국내 반도체 검사장비 기술, 국제 표준화 한다

국내 반도체 검사장비 기술, 국제 표준화 한다 2023.12.15 산업통상자원부 우리나라 중소기업의 반도체 장비 기술이 국제전기기술위원회(IEC)에 신규 국제표준안(NP, New Proposal)으로 제안되었다. 산업통상자원부 국가기술표준원 진종욱 원장은 12월 15일(금) 첨단산업의 국제 표준화 지원을 위한 현장 행보로 국내 반도체 장비 기업 이솔(E-SOL)을 방문하여 국제표준화 추진현황을 청취하고 지원방안을 논의하였다. 이솔은 반도체 극자외선(EUV) 공정에 사용되는 마스크 계측·검사 장비 및 펠리클(Pellicle, 보호박막)의 투과도 검사 장비 등을 제작·판매하는 EUV 장비 제조기업이다. EUV 공정은 초미세 반도체 공정에서 EUV 광(光)이 미세회로가 그려진 마스크를 통해 웨이퍼에 회로를 새기는 방식이다. 펠리클은 마스크 위에 씌워져 미세먼지 등의 오염으로부터 마스크를 보호하는 박막으로, EUV 공정에서 펠리클의 EUV 투과도는 초미세 반도체 수율에 큰 영향을 미친다.(...

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