노광 기술의 과거와 오늘 그리고 미래(EUV)

EUV(Extreme Ultra Violet) 1. 나노미터의 시대 지금 우리 시대를 나노미터의 시대라고 부른다. 대체 무엇이 나노미터 시대인가? 실리콘 웨이퍼 위에 얇은 산화 매을 입히는 과정이 끝나면 본격적인 반도체 공..

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