'EUV 끝판왕' ASML, 로드맵 공개…"2023년 상반기 신제품 인도"

https://www.theguru.co.kr/news/article.html?no=27107 'EUV 끝판왕' ASML, 로드맵 공개…"2023년 상반기 신제품 인도" [더구루=오소영 기자] 네덜란드 ASML이 2023년 상반기부터 미세 공정 구현에 활용되는 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 고객사에 인도한다. 시간당 웨이퍼 처리량이 200장 이상인 장비도 개발하며 EUV 노광장비 시장에서 독점 지위를 공고히 한다. 퇸 반 고흐(Teun van Gogh) ASML EXE 제품 담당은 지난달 9월 30일(현지시간) 미국 www.theguru.co.kr 요약) ASML = 23년 상반기 0.55 High NA EUV 장비 공급 예정 (0.33 → 0.55) -> 3nm이하 공정 개발 + W/f 처리량 ↑(200#/h) -> 현재 3nm 공정개발 위해 멀티패터닝 + EUV 사용해야함 => High NA로 EUV만 사용 = 당분간은 0.33NA 장비 공존 예정 -> 2nm 공정에도 활용...

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