진공 펌프의 성능(2)

3.1.2 배기 시간 고진공 시스템에서 배기속도와 최저도달압력은 진공용기로부터 방출되는 수증기를 포함한 표면 탈착을 비롯하여 다양한 가스방출원에 의해 제한된다. 배기 시간(pumping time)은 진공용기의 체적, 펌프의 용량, 내부 표면적뿐만 아니라 표면 청결도에 의해 의존하게 된다. 진공용기를 펌프에 의해 배기하면 두 단계로 구분할 수 있으며, 공간 배기와 표면 배기로 나눈다. 공간 배기는 주로 진공 펌프를 구동하기 시작한 초기의 배기로서 용기 안의 공간에 존재하는 기체분자를 뽑아내는 것이고, 표면 배기는 용기 내벽으로부터 방출하는 가스를 배기하는 것이다. 이미 용기 벽을 통하여 일어날 수 있는 여러 가지 가스방출원에 대해 기술하였다. 먼저, 공간 배기를 고려하면 온도가 일정할 경우, 진공용기 내에..

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