러핑 펌프

러핑 펌프 일반적으로 대기압에서부터 $10^{-3}$ torr 정도까지의 저진공 및 중진공 영역에서 사용하는 펌프를 러핑 펌프(roughing pump)라고 하며, 주로 초기 진공을 생성하기 위해 사용된다. 원래 "rough"의 사전적인 의미는 "거칠거나 부드럽지 못한" 것을 나타낸다. 이는 초기에 대기압 상태인 진공 용기를 펌프로 기체분자를 배기하기 시작하면 순간적으로 일어나는 불규칙한 흐름으로 인해 심한 소음과 진동을 만들게 되며, 이내 서서히 조용해지며 점성 유동하게 된다. 이와 같이 진공 시스템을 구동하기 시작하면, 처음에 발생하는 거친 소음이나 진동을 일으키는 초기 진공 단계 동안에 거칠게 동작하는 펌프이기 때문에 붙여진 명칭일 것으로 여겨진다. 러핑 펌프는 초기에 배기하는 펌프의 역할을 완료하..

원문링크 : 러핑 펌프