진공 튜빙

9.1.4 진공 튜빙 진공 시스템으로 공급되는 대부분의 기체는 튜빙 라인(tubing line)을 통하여 이루어지며, 필요에 따라 다양한 스웨즐락(swagelok)을 사용하게 된다. 그림 9-6은 각종 스웨즐락의 외형을 나타내고 있다. 스웨즐락 튜브 피팅을 하기 위해 고려하여야 할 사항으로는 튜빙의 재질, 두께, 표면 처리 및 경도 등이 있다. 튜빙 작업에는 표면에 흠집이 없어야 하며, 표면을 주의하여 다루어야 한다. 실제로 튜빙 표면이 긁히거나 결함이 생기면 건조한 공기, 수소, 헬륨, 아르곤 및 산소와 같은 기체는 매우 작은 분자들이기 때문에 미세한 누설경로를 통해서 빠져나갈 수 있다. 만일, 표면에 이상이 생기면 연마작업으로 제거하여 부드럽게 만들 수도 있지만, 두께가 얇아져서는 안 된다. 스웨즐락..

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